美國ALICAT耐高壓質(zhì)量流量控制器，適用于高壓應(yīng)用氣體質(zhì)量流量的測量和控制。可用量程：0-5000 slpm；0-10 sccm，可調(diào)比：50:1，校準精度（NIST可溯源）：±2%滿量程，可重復(fù)性：0.2%滿量程，標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：5-10ms，無需預(yù)熱時間

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