日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光，它實現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1％精度。板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。

日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光概述：

• 通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現(xiàn)高精度，高速傳感器響應(yīng)
• 采用電磁鐵電磁閥常閉閥
• 由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
• 采用隔膜閥，減少死體積
• 面對面，體型和接線連接與其他公司的更換兼容

日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光

5100系列性能參數(shù)： 

5100系列電器連接：

5100系列使用注意：

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點漂移清零的時候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。