日本KOFLOC 3200系列質(zhì)量流量控制器，是新型質(zhì)量流量控制器，已在半導(dǎo)體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗(yàn)證。它是一種適用于新Cofflock標(biāo)準(zhǔn)的高性能型號(hào)。

日本KOFLOC 3200系列質(zhì)量流量控制器：

應(yīng)用于多個(gè)OEM設(shè)備場合，尤其適合微小流量測量，適用于燃?xì)獾蛪毫Α⑿孤y試的低流量、半導(dǎo)體等使用，±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號(hào)更加通用，可定制0.02-1SCCM微小流量。

特點(diǎn)：

• 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
• 采用常閉閥門，方向操作安全
• 采用隔膜閥，減少死體積
• F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項(xiàng)）
• 低壓差兼容燃?xì)饪刂疲↙P選項(xiàng)） 

日本KOFLOC 3200系列質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù)：

電器連接：

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級(jí)側(cè)小于300kPa，次級(jí)側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。

 ★使用注意

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作

尺寸圖：