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      日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器

      更新時(shí)間:2025-01-23

      簡(jiǎn)要描述:

      日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器
      日本KOFLOC5100系列質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光
      金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
      內(nèi)部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質(zhì)
      ±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用
      適用于高真空、半導(dǎo)體以及對(duì)管路潔凈度高要求場(chǎng)合

      廠商性質(zhì):代理商點(diǎn)擊量:2535
      日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器
      產(chǎn)地進(jìn)口加工定制
      質(zhì)保1年

      日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器
      日本KOFLOC5100系列質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光
      金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
      內(nèi)部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質(zhì)
      ±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用
      適用于高真空、半導(dǎo)體以及對(duì)管路潔凈度高要求場(chǎng)合

      日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器

      性能參數(shù):

       

      量程(N2)

      1SCCM-20SLPM

      精度

      ±1.0%FS

      重復(fù)性

      ±0.2%FS

      響應(yīng)時(shí)間

      1秒以內(nèi)

      耐壓

      1.0Mpa

      進(jìn)口大壓力

      O.3Mpa

      動(dòng)作壓差

      0.05-0.3Mpa

      泄漏率

      1*10-11pa·m³/s以下

      內(nèi)拋光

      Ra≤0.1

      溫度范圍

      5-45℃

      濕度范圍

      10-90%RH(不能結(jié)露)

      材質(zhì)

      本體SUS316L

       

      密封圈SUS316L、PTFE

      電氣接口

      DB9

      模擬信號(hào)

      0-5V輸入/輸出

      供電

      +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

      管路連接

      標(biāo)配1/4UJR

       

      選配1/8UJR

      重量

      約1000g

       

          ★使用注意

       

      一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

      二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

      三:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

      四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口大壓力5公斤。

      五:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。

       

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