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      日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器

      更新時間:2025-01-23

      簡要描述:

      日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
      日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
      金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
      內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
      ±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
      適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場合

      廠商性質:代理商點擊量:2439
      日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
      產地進口加工定制
      質保1年

      日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
      日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
      金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
      內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
      ±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
      適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場合

      日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器

      性能參數:

       

      量程(N2)

      1SCCM-20SLPM

      精度

      ±1.0%FS

      重復性

      ±0.2%FS

      響應時間

      1秒以內

      耐壓

      1.0Mpa

      進口大壓力

      O.3Mpa

      動作壓差

      0.05-0.3Mpa

      泄漏率

      1*10-11pa·m³/s以下

      內拋光

      Ra≤0.1

      溫度范圍

      5-45℃

      濕度范圍

      10-90%RH(不能結露)

      材質

      本體SUS316L

       

      密封圈SUS316L、PTFE

      電氣接口

      DB9

      模擬信號

      0-5V輸入/輸出

      供電

      +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

      管路連接

      標配1/4UJR

       

      選配1/8UJR

      重量

      約1000g

       

          ★使用注意

       

      一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

      二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

      三:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。

      四:耐壓1.0Mpa,進口大壓力5公斤。

      五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

       

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